李以贵 教授
上海应用技术大学 理学院
电话: (86-21-60873196)
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教育
博士，机械电子，日本东北大学，仙台，日本（1997-2001）;
硕士，测试技术，哈尔滨工业大学（1988-1991年）;
学士，精密仪器，哈尔滨工业大学（1981-1985年）。
工作经历
2013.07至今： 上海应用技术大学 理学院 教授；
2001.04–2013.07：上海交通大学微纳科学技术研究院，研究员，博士生导师；
1991.04- 2001.04：哈尔滨工业大学航天学院电子系，讲师
1985．07-1988.08：核工业部秦山核电站，干部
教学
计算机接口技术，电源开关，微传感器与微执行器，光电技术等.
研究方向
微传感器,微执行器，微细加工技术，检测技术等.
研究项目
1. 国家自然科学基金面上项目，60377014，基于键合技术的新型集成光学干涉仪的研究，2003/01-2005/12，19万元，已结题，主持
2. 国家自然科学基金面上项目，60777016，基于表面波微驱动器驱动的二维光学平台的研究，2008/01-2010/12，28万元，已结题，主持
3. 上海浦江人才计划项目，09PJ1406200，纳米光子器件制造用纳米模具制作关键技术研究，2009/07-2011/07，20万元，已结题，主持
4. 科技部国际合作项目，2009DFB10330，基于环境振动能量采集的压电微能源研究，2009/01-2011/12，261万，已结题，参加
5. 国家自然科学基金重点项目，51035005，面向瘫痪恢复的柔性可植入人工神经系统跨尺度制造关键问题研究，2011/01-2014/12,180万，已结题，参加
6. 上海市“联盟计划”项目，LM201441，微针透皮给药产品，2014/07-2015/12，8万，已结题，主持
7. 上海市“联盟计划”项目，LM201712，8-50um厚PZT（钛酸锆铅）压电功能薄膜的制备，2017/07-2018/12，10万，已结题，主持
8. 上海市农委项目，沪农科创字（2018）第3-3号，农药无人机植保减施增效技术集成研究，2018/07-2020/7，8万，在研，参加
论文
1. Chenchen Luo, Yigui Li, Sugiyama Susumu, Fabrication of high aspect ratio subwavelength gratings based on X-ray lithography and electron beam lithography, Optics & Laser Technology 44 (2012) 1649–1653, SCI收录。
2.Zhu, Jun; Cao, Ying; Li, Yigui;Xiang Chen;Di Chen: Integrating process and novel sacrificial layer fabricating technique based on diluted SU-8 resist;MICROELECTRONIC ENGINEERING Vol:93 pp: 56-60 ,2012,SCI 收录。
3.Tang, G.; Liu, J-Q.; Yang, B.;Luo J.B;Liu H-S; Li Y-G;Yang C-S;Dao V-D;Tanaka K; Sugiyama S, Piezoelectric MEMS low-level vibration energy harvester with PMN-PT single crystal cantilever, ELECTRONICS LETTERS Vol: 48(13),pp: 784-786,2012. SCI 收录。
4.Gang Tang, Jing-quan Liu, Bin Yang, Jiang-bo Luo, He-sheng Liu, Yi-gui Li, Chun-sheng Yang, Dan-nong He, Viet Dzung Dao, Katsuhiko Tanaka and Susumu Sugiyama: Fabrication and analysis of high-performance piezoelectric MEMS generators, JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING,Vol: 22 (6): 065017, 2012. SCI 收录。
5.Yong Deng, Yigui Li, Chunsheng Yang, Jingquan Liu, Dannong He,Susumu Sugiyama,PZT Thin Films from Bulk PZT for Vibration Power Harvester Applications, Advanced Materials Research Vols. 418-420 (2012) pp 1383-1386.EI收录。
6.Wanqing Bai, Yigui Li, Chunsheng Yang, Jingquan Liu, Dannong He, Susumu Sugiyama,Fabrication of Metal Micro Needle Array by LIGA Process,Advanced Materials Research Vols. 418-420 (2012) pp 1911-1914.EI收录。
7.Li Yigui, YANG Chun-Sheng，Liu Jingquan，SUGIYAMA Susumu，Fabrication of Polymer Micro Needle Array by Mask Dragging X-Ray Lithography and Alignment X-Ray Lithography，Chinese Physics Letter，Vol. 28,No. 3 (2011) 038101，SCI收录。
8.Junfeng Zhang,Yigui Li, Chun Hui,Jun Zhu，Nanofibers doped with a phosphorescent iridium complex: Synthesis,characterization,and photophysical property study，Synthetic Metals 161(2011)，1166-1171，SCI收录。
9.Li Yigui, Sun Jian , Yang Chunsheng,Liu Jingquan,Sugiyama Susumu,Tanaka Katsuhiko，Fabrication and Characterization of a Lead Zirconate Titanate Micro Energy Harvester Based on Eutectic Bonding，Chinese Physics Letter，Vol. 28,No. 6 (2011) 068103，SCI收录。
10.Bin Yang, Jingquan Liu, Gang Tang, Jiangbo Luo, Chunsheng Yang, and Yigui Li，A generator with nonlinear spring oscillator to provide vibrations of multi-frequency，APPLIED PHYSICS LETTERS 99, 223505 (2011). SCI收录。
11.Gang Tang, Jing-quan Liu, He-sheng Liu, Yi-gui Li, Chun-sheng Yang, Dan-nong He,Viet Dzung Dao, Katsuhiko Tanaka, and Susumu Sugiyama, Piezoelectric MEMS generator based on the bulk PZT/silicon wafer bonding technique, Phys. Status Solidi A 208, No. 12, 2913–2919 (2011). SCI收录。
12.Yigui LI,Jingquan LIU,Chunsheng YANG, Dannong HE ,Katsuhiko TANAKA, Susumu SUGIYAMA, Direct writing micro/nano structures on PZT wafer by laser Micromaching,Advanced Materials Research,Vols. 291-294 (2011) pp 1373-1376.EI收录。
13.Sun Jian, Li Yigui, Liu Jingquan, et.al. Fabrication of Piezoelectric Vibration Power Harvester using Bulk PZT, Key Engineering Materials Vol. 483 (2011) pp 631-634.EI收录。
14.Zhang Guan, Li Yigui,Zhang Junfeng, Yang Chunsheng ,Liu Jingquan,Two-dimensional motor based on surface acoustic wave,Key Engineering Materials Vol. 483 (2011) pp 128-131,EI收录。
15.Jian Sun, Yigui Li Jingquan Liu, et.al.,Comparison of bonding of bulk PZT to silicon by intermediate glass layer and by intermediate Au layer,Materials Science Forum Vols. 663-665 (2011) pp 490-493.EI收录。
16.Yigui Li, Jian Sun, Jingquan Liu, et.al., Evaluation of properties of lapped PZT ceramics and silicon cantilever based on eutectic bonding and dicing process, Materials Science Forum Vols. 663-665 (2011) pp 999-1003.EI收录。
17.Yigui Li and Susumu Sugiyama, Fabrication Multi-layer Polymer Microstructures by X-ray Lithography with Alignment, Materials Science Forum Vols. 663-665 (2011) pp 1016-1019. EI收录。
18.Gang Tang, Jing-quan Liu, He-sheng Liu, Yi-gui Li,Chun-sheng Yang, Dan-nong He, Fabrication and performance of piezoelectric MEMS generators using bulk PZT films, Key Engineering Materials Vol. 483 (2011) pp 607-610. EI收录。
19.MA Hua-An, LIU Jing-Quan, TANG Gang, YANG Chun-Sheng, LI Yi-Gui, He Dan-Nong, A Broadband Frequency Piezoelectric Vibration Energy Harvester, Key Engineering Materials Vol. 483 (2011) pp 626-630. EI收录。
20.Yan Xiao-xiao, Liu Jing-quan, Wang Long-fei, Yang Chun-sheng, Li Yi-gui, Silicon-based Microneedle Array Electrodes For Biopotential Measurement, Key Engineering Materials Vol. 483 (2011) pp 443-446. EI收录。
21.Li Yigui, Susumu Sugiyama,Fabrication Multi-layer Polymer Microstructures by X-ray Lithography with Alignment,Material Science Forum,2010,Vols.663-665,pp.1016-1019. EI收录。
22. Gang Tang ; Ci-hang Zheng ; Jing-quan Liu ; Yi-gui Li ; He-sheng Liu ; Chun-sheng Yang ; Dan-nong He： Piezoelectric energy harvesting from ultrasonic vibration in fluid environments；Proc. SPIE 7544, Sixth International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation, p.75442X (2010); EI收录。
23. 廖哲勋，李以贵,朱军：基于微加工工艺的聚苯乙烯微针阵列研制,上海交通大学学报，2012年第46卷第11期, Page: 1848-1851. EI 收录。
24.李以贵，杉山进:用同步辐射光刻直接在有机玻璃板上制备高深宽比亚微米光栅,光学学报，2010,Vol.30,No.5, 1451-1454.EI收录。
25.高阳，李以贵，张俊峰等,一种基于声表面波驱动液滴的二维数字微流体检测技术,纳米技术与精密工程，2010,Vol.8,No.1, 59-62.EI收录。
26.陈少军,李以贵,杉山进,应用X射线光刻的微针阵列及掩膜板补偿,光学精密工程2010,Vol.18,No.2,420-425. EI收录。
27.李以贵，杉山进：Multi-layer Micro/Nano Fabrication Based on Synchron Radiation Lithography，纳米技术与精密工程，2009，第7卷02期，186-189,EI收录。
28.高阳，李以贵，张俊峰：利用声表面波实现液体的二维微驱动，光学精密工程，Vol.17,No.7,pp1548-1552,2009.EI收录。
29.张俊峰，李以贵,惠春：浮动电极型单向声表面波驱动器的设计与制造，光学精密工程，Vol.17,No.6,pp1300-1305,2009.EI收录。
30.李以贵，杉山进：基于移动LIGA工艺的微针阵列研制，纳米技术与精密工程，2009年第01期，pp81-84. EI收录。
2. 李以贵,谢长生,廖哲勋,朱军.基于转写技术的微针阵列制备与强度特性测试[J].纳米技术与精密工程,2014,12(03):194-201.
3. 李以贵,杉山进.基于同步辐射光刻工艺和电铸工艺的金属纳米光栅模具制备[J].中国激光,2014,41(11):184-188.EI收录
4. 黄远,李以贵,颜平,杉山进.微针采血与离子浓度检测一体化装置的研制[J].纳米技术与精密工程,2015,13(06):458-462.
5. 李以贵,黄远,颜平,杉山进.基于微细加工技术的高精度荧光检测生物芯片[J].微纳电子技术,2015,52(11):707-712.
6. 李以贵,颜平,黄远,杉山进.基于准分子激光的X光掩膜板与压电陶瓷加工[J].微纳电子技术,2015,52(12):786-790.
7. 李以贵,颜平,黄远,祝宁.基于特殊X射线光刻技术的空心微针制备技术[J].上海应用技术学院学报(自然科学版),2015,15(04):384-386.
8. 李以贵,颜平,黄远,杉山进.共晶键合与减薄技术的压电能量采集器（英文）[J].强激光与粒子束,2016,28(06):68-72.
9. 李以贵,黄远,颜平,王欢,杉山进.利用体块PZT制备膜片式压电微泵[J].光学精密工程,2016,24(05):1072-1079.EI收录
10.颜平,李以贵,黄远,田中克彦,杉山进.基于共晶键合与对准切割的压电材料微细加工[J].压电与声光,2016,38(03):504-507.
11.李以贵,颜平,黄远,杉山进.基于X光移动光刻技术的PMMA微透镜阵列制备[J].红外与激光工程,2016,45(06):224-228.
12.黄远,李以贵,毕贞法,颜平,王欢,山杉进.微压电复合材料超声波探测器的制备及应用[J].传感技术学报,2016,29(06):947-951.
13.黄远,李以贵,颜平,王欢,李俊衡,杉山进.基于声表面波驱动器的液体单方向驱动[J].微纳电子技术,2017,54(01):26-30+52.
14.李以贵,蔡金东,黄远,吕曈,颜平,王欢.基于准分子激光器的压电陶瓷微结构加工[J].激光与光电子学进展,2017,54(09):234-239.
15.何希文,李以贵,吕曈,蔡金东,黄毅.声表面波驱动的微混合器[J].微纳电子技术,2017,54(10):671-676.
16.李以贵,吴文渊,王欢,蔡金东,吕曈.X光光刻工艺微针阵列的制备、测试和仿真[J].光学精密工程,2018,26(05):1156-1164.EI收录
17.王欢,李以贵,蔡金东,吴文渊,吕瞳,何易德.基于块材压电陶瓷的悬臂梁式压电微驱动器[J].微纳电子技术,2018,55(08):571-576+605.
18.吴文渊,李以贵,王欢,蔡金东,吕曈,何易德.基于移动X射线光刻工艺的采血微针阵列的制备[J].微纳电子技术,2018,55(09):671-676+682.
19.王欢,李以贵,蔡金东,吕曈,吴文渊.基于微硅热丝的热流式加速度传感器[J].微纳电子技术,2018,55(11):795-800+818.
20.张成功,李以贵,王欢.隔膜式压电驱动器的制备及其在微泵中的应用[J].微纳电子技术,2019,56(02):145-150+156.
